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根据权利要求2所述的直拉式单晶生长炉，其特征在于所述气流 导向装置(20)的中轴孔(2-1)与该炉的石墨中轴(21)活动密封连接。4， 根据权利要求2或3所述的直拉式单晶生长炉，其特征在于所述 气流导向装置(20 )的电极孔(2-2 )分别与该炉的电极柱(15 )密封连接。5， 根据权利要求4所述的直拉式单晶生长炉。

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我们要维护保养单晶炉，要知道单晶炉的核心部件，维护保养中主要检查，将故障排除。单晶炉需要注意的是坩埚轴驱动部件。用直拉法生长单晶的设备和工艺比较简单，容易实现自动控制，生产效率高，易于大直径单晶，容易控制单晶中杂质浓度，可以低电阻率单晶。据统计，上硅单晶的产量中70%～80%是用直拉法生产的。江南电力光伏科技有限。直拉法引进消化吸收国外技术研发环保清洁可再生新能源产品——太阳能光伏发电站和风力发电站的相关设备。其中硅单晶生长炉设备有两大系列三个品种。也叫切克劳斯基（J.Czochralski）方法。此法早在1917年由切克劳斯基建立的一种晶体生长方法。